发明名称 PROCEDE DE REPORT D'UNE COUCHE MINCE SUR UN SUPPORT
摘要 Un procédé de report d'une couche mince sur un premier support (18), comprend les étapes suivantes :- fourniture d'une structure comportant une couche (3) dont une partie au moins est issue d'un substrat massif d'un premier matériau et solidaire d'un second support (6, 10) présentant un coefficient de dilatation thermique différent de celui du premier matériau et proche de celui du premier support, l'épaisseur de la couche (3) étant telle que le comportement mécanique en température de la structure obtenue après collage soit imposé par les premier et second supports (6, 10) ;- formation dans la couche (3) d'une zone fragilisée enterrée (14) délimitant la couche mince à reporter ;- collage de la couche (3) solidaire du second support (6, 10) sur le premier support (18) ;- fracture de la couche (3) au niveau de la zone fragilisée (14).
申请公布号 FR2889887(A1) 申请公布日期 2007.02.23
申请号 FR20050008555 申请日期 2005.08.16
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 DEGUET CHRYSTEL;CLAVELIER LAURENT;DECHAMP JEROME
分类号 H01L21/30;H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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