用于支撑并转动晶圆的旋转装置

摘要

本实用新型公开了一种用于支撑并转动晶圆的旋转装置，包含一第一转轴单元、复数相间隔设置的第二转轴，及一可带动该第一转轴单元转动的动力单元。该第一转轴单元包括一具有一杆体段与一容置管段的轴杆，该容置管段可界定出一具有一中心槽部及复数环设的环槽部，该第一转轴单元还包括一容置在该中心槽部并以非金属材质制成的分隔杆、复数分别容置于每一环槽部的磁性条，及一盖合该容置槽的轴盖。当该旋转装置是应用在清洗晶圆的设备上时，借由该杆体段与容置管段是一体成型与在该轴盖上并无开设任何的贯通的孔洞，可大幅减少清洁液渗入的情况。

主权项

1.一种用于支撑并转动晶圆的旋转装置，包含一第一转轴单元、复数第二转轴，及一可感应地带动该第一转轴单元转动的动力单元，该第一转轴单元与每一第二转轴相间隔地抵靠在该晶圆的外周缘以支撑该晶圆，当该第一转轴单元被该动力单元驱动而旋转时，会带动该晶圆转动，其特征在于：该第一转轴单元包括一轴杆、一分隔杆、复数磁性条，及一轴盖，该轴杆具有一可界定出一中心轴线的杆体段、一围绕该中心轴线并自该杆体段端面向外延伸的容置管段、及一设于该杆体段外周面上并可供该晶圆靠抵的凹环槽，该容置管段可界定出一平行该中心轴线的容置槽，该容置槽具有一中心槽部，及复数环绕该中心轴线排列并与该中心槽部相连通的环槽部，该分隔杆设置在该轴杆的容置管段的中心槽部内并以非金属材质制成，所述的磁性条是个别容置在该轴杆的容置管段的每一环槽部内并被该分隔杆所抵顶，该轴盖可封闭该轴杆的容置槽。