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发明名称
METHODS FOR WET CLEANING QUARTZ SURFACES OF COMPONENTS FOR PLASMA PROCESSING CHAMBERS
摘要
申请公布号
EP1753549(A2)
申请公布日期
2007.02.21
申请号
EP20050756207
申请日期
2005.06.03
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
SHIH, HONG;HUANG, TUOCHUAN;OUTKA, DUANE;KUO, JACK;LIU, SHENJIAN;MOREL, BRUNO;CHEN, ANTHONY
分类号
C23G1/02;B08B3/00;B08B3/04;B08B3/12;C23C16/00;C23C16/44;H01J37/32
主分类号
C23G1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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