透明导电膜用靶、透明导电材料、透明导电玻璃及透明导电薄膜

摘要

本发明包括通过溅射等稳定而有效方式形成膜的透明导电膜用的烧结产物、该烧结产物的溅射靶以及由该靶制成的透明导电玻璃和膜。该透明导电玻璃和膜具有优良的透明度、导电性和成为电极的可加工性，因此适合于有机电致发光器件的透明电极中，以实现在其中的良好空穴注入率。此烧结产物按该金属原子的特定原子比含有构成成分氧化铟、氧化锡及氧化锌，并任选地含有特定的金属氧化物，如氧化钌、氧化钼、氧化钒等。

主权项

1.一种组合物的烧结产物，该组合物含有氧化铟与氧化锌、或还含有氧化锡，各成分的金属原子比为In/(In+Zn+Sn)＝0.80～1.00Zn/(In+Zn+Sn)＝0.05～0.20Sn/(In+Zn+Sn)＝0.00～0.20，且含有占全部金属原子总量的0.5～10原子％的由氧化钌、氧化钼及氧化钒中所选出的一种金属氧化物。