光罩、主动元件阵列基板及其制作方法

摘要

一种主动元件阵列基板的制作方法。首先提供基板，并于基板上依序形成第一图案化导电层、第一介电层以及半导体层。然后，图案化半导体层及第一介电层，以同时形成通道层以及具有第一接触窗的闸绝缘层。之后，于闸绝缘层上形成第二图案化导电层，其中部分第二图案化导电层覆盖于通道层上，且部分第二图案化导电层透过第一接触窗与部分第一图案化导电层电性连接。然后，于闸绝缘层上形成具有第二接触窗之保护层，以覆盖通道层及第二图案化导电层上。最后，于保护层上形成与第二图案化导电层电性连接的画素电极。