装卸埠及装卸埠之控制方法

摘要

本发明系提供在基板收纳容器的装置方向上没有限制，并配合连接装卸埠之装置的型态能有弹性地对应之小型装卸埠。并且，还提供工作效率高的装卸埠。在具有为了装置基板收纳容器的底座(12)、及使前述底座移动的移动机构，且开关前述被装置之基板收纳容器盖子的装卸埠上，具有使前述底座(12)旋转的旋转机构、及使前述底座升降的升降机构。