静电吸盘

摘要

〔课题〕提供耐电浆性与被吸附物的冷却性能优异的静电吸盘。〔解决手段〕静电吸盘20的基本上的构成，是于金属板21的表面藉由喷镀形成有绝缘体膜22，而于该绝缘体膜22上经由绝缘性黏接剂层23接合有介电质基板24，该介电质基板24的表面是作为半导体晶圆等的被吸附物W的载置面，而在下面形成有电极25，25。