平台装置、微影装置及器件制造方法

摘要

为提高微影装置之生产率，描述一种用于固持两个图案化器件之平台装置。该等图案化器件经配置使得在扫描方向中该等图案之间的距离对应于在扫描方向中该图案之长度。藉此，可藉由用一第一图案曝光一第一晶粒、跳过邻近该第一晶粒的一第二晶粒且使用一第二图案曝光邻近该第二晶粒的一第三晶粒来执行改良之曝光顺序。