用于带电粒子束之偏向信号补偿

摘要

本发明系关于在束重新定位时传输穿过一偏向系统之未接收到正确偏向力且经错误引导的带电粒子。藉由独立地将信号施加至一偏向系统之多个级，减少在一像素改变期间经错误引导之粒子的数目。