绘图资料取得方法与装置以及绘图方法与装置

摘要

【课题】一种曝光点资料之取得方法，该曝光点资料系在根据曝光点资料利用曝光头将曝光图案曝光于基板上时使用，并因应于基板之变形等从原影像资料取得，在该方法，缩短其曝光点资料之取得时间，以提高生产效率。【解决方式】取得多个和基板12上之曝光头30的微反射镜之虚拟绘图轨迹资讯对应的原影像资料上之虚拟曝光点资料轨迹资讯，并从原影像资料分别取得和此虚拟绘图点资料轨迹对应之追踪资料，预先记忆于样板记忆部56a后，特定实际曝光时和在基板12上之微反射镜的曝光轨迹资讯对应之虚拟曝光点资料轨迹资讯，再取得和此特定之虚拟曝光点资料轨迹资讯对应的追踪资料，作为和实际之曝光轨迹资讯对应之曝光点资料。