所欲材料之均匀层的沈积作用

摘要

本发明系关于一种用于在一表面上沈积一所欲材料薄膜之方法，其包含：(i)在低于所欲材料固体颗粒之玻璃转移温度之平均流温度下，提供一悬浮于至少一种载体气体中之所欲材料之连续非晶形固体颗粒流，该等固体颗粒之体积加权平均粒径小于500nm，(ii)将(i)中提供之流通过一加热区，并在该加热区内将该流加热以将该平均流温度提高至高于所欲材料之固体颗粒之玻璃转移温度，其中该所欲材料并未因为对该所欲材料加热而发生实质的化学转换，(iii)将该加热流自该加热区通过至少一分布通路排出，其速度大体等于其在步骤(ii)中加入该加热区之速度，其中该载体气体在通过加热区及分布通路时不经历热力相之改变，及(iv)将一处于低于该加热流温度之温度下之接收表面曝露于该加热流之排出流，并使所欲材料颗粒沈积以在该接收表面形成一所欲材料之薄均匀层。