发明名称 蚀刻玻璃基板的装置
摘要 一种用于蚀刻玻璃基板的设备包含用于容纳蚀刻溶液的容器和安置在容器中的至少两个滚筒。至少两个滚筒可彼此面对。玻璃基板插入在至少两个滚筒之间,且在旋转至少两个滚筒的同时使用蚀刻溶液均匀地蚀刻玻璃基板。
申请公布号 TW200706698 申请公布日期 2007.02.16
申请号 TW095129172 申请日期 2006.08.09
申请人 智圆技术股份有限公司 发明人 李起元;崔承珠;姜明元;成珖柱
分类号 C23F1/08(2006.01);C23F1/24(2006.01) 主分类号 C23F1/08(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 韩国