| 摘要 |
本发明之课题在于提供容易管理有关液滴喷出及雷射照射之参数，对工件喷出液滴之描绘系统、及可正确且迅速地施行喷出之液滴与雷射光点之定位之液滴喷出装置。本发明之液滴喷出装置系包含：基台(防振台)2：描绘系统3，其系具备将功能液喷出成液滴之液滴喷出头31、保持液滴喷出头31之支架32、及保持液滴被描绘之工件W之工作台3a者；及光学系统4，其系具备输出雷射光之光源40、构成于光源40与液滴之间且可供入射于该液滴之雷射光通过之光程4a、4b、4c者；在基台2上，皆以该基台2上面作为基准面而建构描绘系统3与光学系统4，并透过描绘系统3与光学系统4之联合控制而施行图案描绘及定影。 |
