发明名称 DISPOSITIVO DE GENERACION DE UN HAZ DE IONES.
摘要 Dispositivo de generación de un haz de iones, estando este dispositivo caracterizado porque comprende una fuente de iones (2), un medio (6) de extracción de los iones emitidos por la fuente, un medio (8) de aceleración de los iones así extraídos, un medio (34) de selección de los iones así acelerados, y un sistema (10) de óptica electrostática destinado a enfocar los iones así seleccionados según un primer eje (Z1), y porque el dispositivo comprende, además, un medio (F) de variación de la distancia (D) entre la fuente de iones y el medio de extracción de iones, siendo esta distancia contada según un segundo eje (Z) que es paralelo al primer eje y que constituye el eje del haz (14) de iones emitido por la fuente.
申请公布号 ES2265496(T3) 申请公布日期 2007.02.16
申请号 ES20020722381T 申请日期 2002.03.26
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 GIERAK, JACQUES;LAGADEC, YVON;SEPTIER, ALBERT
分类号 H01J27/22;H01J27/26;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317 主分类号 H01J27/22
代理机构 代理人
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