发明名称 |
NICHT-INVASIVE ELEKTRISCHE MESSUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60029483(T2) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
申请号 |
DE20006029483T |
申请日期 |
2000.10.19 |
申请人 |
SOLID STATE MEASUREMENTS INC. |
发明人 |
MAZUR, G.;HILLARD, J. |
分类号 |
G01R1/06;G01R1/067;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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