发明名称 NICHT-INVASIVE ELEKTRISCHE MESSUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DE60029483(T2) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE20006029483T 申请日期 2000.10.19
申请人 SOLID STATE MEASUREMENTS INC. 发明人 MAZUR, G.;HILLARD, J.
分类号 G01R1/06;G01R1/067;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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