发明名称 Mikromechanisches Bauelement mit Anschlag
摘要 Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (10), einer seismischen Masse (1) und wenigstens einem Federelement (2). Dabei ist die seismische Masse (1) mittels des Federelements (2) mit dem Substrat (10) verbunden. Die seismische Masse (1) ist wenigstens in einer ersten Richtung auslenkbar, vermittels einer transversalen Auslenkung des Federelements (2) in der ersten Richtung. Zur Begrenzung der Auslenkung ist an dem Substrat (10) wenigstens ein erster Anschlag (3) vorgesehen. An der seismischen Masse (1) ist wenigstens ein zweiter Anschlag (5, 6) vorgesehen, welcher derart angeordnet ist, dass die Auslenkbarkeit der seismischen Masse (1) in der ersten Richtung durch das Anschlagen der beiden Anschläge (3; 5, 6) aneinander begrenzt ist.
申请公布号 DE102005037741(A1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE200510037741 申请日期 2005.08.10
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 KAELBERER, ARND
分类号 B81B3/00;G01P15/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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