| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN INSBESONDERE KRISTALLINER SCHICHTEN AUF INSBESONDERE KRISTALLINEN SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50111816(D1) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE20015011816 |
申请日期 |
2001.07.13 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
JUERGENSEN, HOLGER;STRAUCH, GERD;KAEPPELER, JOHANNES |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B29/36;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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