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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 KR100682439(B1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 KR20050005758 申请日期 2005.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/26 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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