| 发明名称 |
TRANSPARENT FILM MEASUREMENTS |
| 摘要 |
Thickness of transparent film is measured by utilizing interferometric surface profiles of the film.
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| 申请公布号 |
WO2006019944(A3) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
WO2005US25045 |
申请日期 |
2005.07.14 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION;DELEGA, XAVIER, COLONNA |
发明人 |
DELEGA, XAVIER, COLONNA |
| 分类号 |
G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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