| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Verhinderung einer Verschmutzung eines Substratpositionsaufzeichnungssystems in einem SMIF-System mit korrodierenden Gasen, die sich auf den Substraten befinden |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE10204408(B4) |
申请公布日期 |
2007.02.15 |
| 申请号 |
DE20021004408 |
申请日期 |
2002.02.04 |
| 申请人 |
PROMOS TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
CHEN, SAN-PEN;WU, SHUN-LIAN;WANG, WILLIAM |
| 分类号 |
H01L21/68;H01L21/00;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
