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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG AUFGEHÄNGTER PORÖSER SILIZIUMMIKROSTRUKTUREN UND ANWENDUNG IN GASSENSOREN
摘要
申请公布号 DE60217359(D1) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 DE20026017359 申请日期 2002.02.18
申请人 NCSR "DEMOKRITOS", AGHIA PARASKEVI;TSAMIS, CHRISTOS;TSEREPI, ANGELIKI;NASSIOPOULOU, ANDROULA G. 发明人 TSAMIS, CHRISTOS;TSEREPI, ANGELIKI;NASSIOPOULOU, ANDROULA G.
分类号 B81B3/00;G01N27/16;B81C1/00;G01F1/684;G01N27/12;G01N27/18;H01L37/00;H05B1/00;H05B3/26 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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