音叉型振动片、压电振子、角速度传感器、以及电子设备

摘要

本发明的目的在于提供在宽的温度范围内频率温度特性良好的音叉型振子，即在宽的温度范围内频率变化也很小的音叉型振动片。作为解决手段，本发明的音叉型振动片使用GaPO₄作为压电材料，具有一对臂部，其特征在于：绕着作为所述GaPO₄的晶轴的X轴、Y轴和Z轴中的所述X轴，向着+X轴方向以顺时针方向旋转大于等于7.7°且小于等于11.3°的角度，相对于由此得到的所述X轴、新的Y′轴以及Z′轴，使所述臂部的厚度方向成为所述Z′轴，使所述臂部的宽度方向成为所述X轴，使所述臂部的长度方向成为所述Y′轴。

主权项

1.一种音叉型振动片，其使用GaPO4作为压电材料，具有一对臂部，其特征在于，绕着作为所述GaPO4的晶轴的X轴、Y轴和Z轴中的所述X轴，向着+X轴方向以顺时针方向旋转大于等于7.7°且小于等于11.3°的角度，相对于由此得到的所述X轴、新的Y′轴以及Z′轴，使所述臂部的厚度方向成为所述Z′轴，使所述臂部的宽度方向成为所述X轴，使所述臂部的长度方向成为所述Y′轴，从而形成该音叉型振动片。