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经营范围
发明名称
Loadlock chamber of semiconductor manufacturing equipment
摘要
申请公布号
KR20070018174(A)
申请公布日期
2007.02.14
申请号
KR20050072584
申请日期
2005.08.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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