| 发明名称 | 加热装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供的加热装置，可使从各气体路径的喷出口喷出的气体喷出量均匀，并减少反应膜的堆积。加热装置(100)包括：基体(10)，其具有形成了气体喷出口(12h)的基板加热面(10a)和供给气体的气体供给口(18)，由埋设有电阻发热体11的包含陶瓷的材料构成；气体路径(12)，其从气体供给口(18)连通到气体喷出口(12h)，在基体(10)内形成；以及调整部，其可变更气体路径(12)的截面积。 | ||
| 申请公布号 | CN1913100A | 申请公布日期 | 2007.02.14 |
| 申请号 | CN200610115476.5 | 申请日期 | 2006.08.10 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 冈岛久和;后藤义信 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张敬强 |
| 主权项 | 1.一种加热装置，其特征在于，具备：基体，其具有形成了气体喷出口的基板加热面一侧和供给气体的气体供给口，埋设有电阻发热体，由包含陶瓷的材料构成；气体路径，其从上述气体供给口连通到上述气体喷出口，在上述基体内形成；以及调整部，其可变更上述气体路径的截面积。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||