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发明名称 MEGASONIC CLEANER AND DRYER SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1402566(B1) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 EP20020742054 申请日期 2002.06.12
申请人 AKRION TECHNOLOGIES, INC.;INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 LAUERHAAS, JEFFREY, M.;NICOLOSI, THOMAS, J.JR;MERTENS, PAUL;FYEN, WILLIAM
分类号 B08B3/02;H01L21/00;B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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