发明名称 WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070017790(A) 申请公布日期 2007.02.13
申请号 KR20050072377 申请日期 2005.08.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;B25J13/08;G01B11/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址