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发明名称 Apparatus for removing residual charge from electrostatic chuck and method thereof
摘要
申请公布号 KR20070016790(A) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 KR20050071779 申请日期 2005.08.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/02;H05F3/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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