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经营范围
发明名称
HEAT PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100680769(B1)
申请公布日期
2007.02.08
申请号
KR19990035411
申请日期
1999.08.25
申请人
发明人
分类号
G02F1/13;B24C1/06;G02F1/1343;H01L21/00;H01L21/027;H01L29/786
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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