Half Tone Mask and Method for Fabricating of the Same,申请号KR20010037762-传众专利搜索

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发明名称	Half Tone Mask and Method for Fabricating of the Same
摘要
申请公布号	KR100668731(B1)	申请公布日期	2007.02.05
申请号	KR20010037762	申请日期	2001.06.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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