发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING A SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 KR100678752(B1) 申请公布日期 2007.02.05
申请号 KR20000039099 申请日期 2000.07.08
申请人 发明人
分类号 C23C16/40;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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