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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING A SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号
KR100678752(B1)
申请公布日期
2007.02.05
申请号
KR20000039099
申请日期
2000.07.08
申请人
发明人
分类号
C23C16/40;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/316
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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