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发明名称 A probe card, a test apparatus having the probe card and, test method using the test apparatus
摘要
申请公布号 KR100678480(B1) 申请公布日期 2007.02.02
申请号 KR20050067376 申请日期 2005.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R1/067 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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