发明名称 Apparatus and method of implanting ions partially
摘要
申请公布号 KR100675891(B1) 申请公布日期 2007.02.02
申请号 KR20050037641 申请日期 2005.05.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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