压印微影

摘要

本发明揭示一种压印微影装置，其具有一针及一经配置以固持一待压印基板的基板台，其中该针可在一第一位置与一第二位置之间移动，该第一位置应使得在使用中时该针穿透该基板上一层可压印材料，且该第二位置应使得在使用中时该针自该基板上的可压印材料中脱离，该基板台及该针经配置以使得其中一者可相对于另一者进行扫描。