| 主权项 |
1.一种感应耦合电浆点火方法,其特征为: 在高频输出、反应气体流量以及反应室内压力都 低的状态下,使低能量、低密度的电浆点火,在电 浆点火确认后,使高频输出、反应气体流量以及反 应室内压力都逐渐增加,最终使可处理被处理物的 低能量、高密度的电浆产生,在2~10秒之间进行由 该低能量、低密度的电浆点火确认时到该低能量 、高密度的电浆产生为止的高频输出、反应气体 流量以及反应室内压力的增加。 2.如申请专利范围第1项所述之感应耦合电浆点火 方法,其中该低能量、低密度的电浆点火时的高频 输出、反应气体流量以及反应室内压力分别为使 该低能量、高密度的电浆产生的高频输出、反应 气体流量以及反应室内压力的10~30%、2~15%以及10~30 %。 3.如申请专利范围第1或2项所述之感应耦合电浆点 火方法,其中该低能量、低密度的电浆点火确认系 在电浆点火操作后经过3~10秒时以发光监视器进行 ,未点火的情形系立即停止高频输出的施加。 图式简单说明: 图1系显示与本发明有关的感应耦合电浆的点火条 件的一例的图。 图2系显示习知的高压力、高气体流量以及高输出 的电浆点火条件的图。 图3系显示以习知的低压力以及低气体流量施加高 输出的高频,在电浆点火后使反应室内压力以及反 应气体流量上升的电浆点火条件的图。 |
