发明名称 电浆处理装置
摘要 本发明系一种电浆处理装置,其系为了在成型为平板状的加工品上施以电浆处理,其特征在于该电浆处理装置具备有预抽室,系为了将该加工品进行供给或排出;电浆处理室,系透过该预抽室以及闸阀串联连结设置,以将该加工品在预抽室之间进行输入或输出;载体,系将该加工品支撑为平坦状,并可同时与该加工品在该预抽室以及电浆处理室之间进行输送;输送机构,系于支撑设置于该预抽室以及电浆处理室上的载体之支撑机构间,进行载体的来回输送,如此可针对于大尺寸之加工品在不降低蚀刻率等处理效率下而可以均匀的电浆作用来进行高精密的电浆处理,且生产效率高。
申请公布号 TW200704441 申请公布日期 2007.02.01
申请号 TW094125591 申请日期 2005.07.28
申请人 慧程系统科技股份有限公司 发明人 外岛正人
分类号 B01J3/00(2006.01);B01J3/02(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L21/3065(2006.01) 主分类号 B01J3/00(2006.01)
代理机构 代理人 林镒珠
主权项
地址 美国