| 摘要 |
本发明涉及一种立体状聚合体表面形成金属薄膜的装置及处理方法，特别是一种能够离子化有机金属化合物，并调节其离子活动距离，以形成粘附性良好且具有高度均匀度的金属薄膜的立体状聚合体金属薄膜形成装置及其处理方法。本发明装置包括：处理室，其内部可形成密闭空间；高频电源供应装置，其用于向所述处理室内部施加高频电力；电子回旋共振源供应装置，其用于向所述处理室内部提供电子回旋共振源；两个栅极，其配置在所述处理室内部，并隔开一定间距，以在其中间形成处理区；脉冲波供应装置，其用于向所述栅极提供负电压脉冲波；立体状聚合体输入输出装置，其用于将立体状聚合体输送到所述处理室内部，且又将所述聚合体输出到处理室外部；真空泵，用于使所述处理室内部成为真空状态。 |
