| 主权项 |
1.一种基板搬运装置,用来使从平面视角观看为矩 形形状的基板维持在水平方向并转换该基板的方 向来搬运, 其特征在于包括: 空气层,形成和上述基板的下面之间的空气压所产 生的缓冲层; 支持装置,邻接至上述空气层,以可上下移动的方 式来设置,当到达既定的上位置时,可沿着第一水 平方向移动上述空气层上的上述基板的侧缘部,作 为支持;及 旋转装置,设置为可在上述空气层的中央部位上下 移动且可绕着垂直轴周围旋转,当到达既定的上位 置时,支持上述空气层上的上述基板的下面中央部 ,在此支持状态下,藉由绕着垂直轴周围旋转,将该 基板的方向从上述第一水平方向转换为和该第一 水平方向不同的第二水平方向或其相反方向。 2.如申请专利范围第1项之基板搬运装置,其中,上 述支持装置沿着上述第一水平方向支持搬运至上 述空气层的上述基板的侧缘部,其后,上述旋转装 置取代上述支持装置,继续支持上述基板的下面中 央部,绕着垂直轴周围旋转,藉此,将该基板的方向 从上述第一水平方向转换为上述第二水平方向。 3.如申请专利范围第1项之基板搬运装置,其中,上 述旋转装置沿着上述第一水平方向支持搬运至上 述空气层的上述基板的下面中央部,并且,绕着垂 直轴周围旋转,藉此,将该基板的方向从上述第二 水平方向转换为上述第一水平方向,其后,上述支 持装置取代上述旋转装置,支持上述基板的侧缘部 ,藉此,使该基板沿着上述第一水平方向移动。 4.如申请专利范围第1项之基板搬运装置,其中,上 述空气层在构造上具有和上述基板约略相同的矩 形形状。 5.如申请专利范围第4项之基板搬运装置,其中,上 述支持装置分别邻接至与上述空气层相对的侧部 而设置。 6.如申请专利范围第1至3项中任一项之基板搬运装 置,其中,上述空气层的构造为,将复数个于上面具 有空气喷出孔的空气室配置于上述旋转装置的周 围,此复数个空气室中的至少其中一个在沿着上述 第二水平方向和其他基板搬运装置之间搬运上述 基板时,和上述支持装置一起位于既定的下位置, 被设置为可上下移动。 7.如申请专利范围第1至3项中任一项之基板搬运装 置,其中,上述支持装置具有上下移动用致动器、 藉由此致动器上下移动的可动方块、复数个以支 持上述基板的侧缘部的方式设置于上述可动方块 上且用来沿着上述第一水平方向移动该基板的导 向滚轮。 8.如申请专利范围第7项之基板搬运装置,其中,在 上述可动方块的上面,设有空气喷出孔。 9.如申请专利范围第1至3项中任一项之基板搬运装 置,其中,上述旋转装置具有上下移动用致动器、 藉由此致动器上下移动的可动基座、设置于此可 动基座的旋转用马达、藉由此马达绕着垂直轴周 围旋转的旋转单元、复数个以真空吸附上述基板 之下面中央部的方式设置于上述旋转单元的上部 的真空吸附盘、用来在此复数个真空吸附盘产生 真空状态的真空帮浦。 10.如申请专利范围第9项之基板搬运装置,其中,在 上述空气层的中央部位,形成开口部,并且,在与此 中央开口部对应的位置上,配置上述旋转装置,上 述旋转装置的构造为,进一步具有复数个可嵌入上 述复数个真空吸附盘的孔,并且,具有在上述旋转 单元的上部透过缓冲器受到支持的辅助板,此辅助 板在上述可动基座到达既定的下位置时,到达上述 复数个真空吸附盘的上方,填平上述中央开口部。 11.如申请专利范围第10项之基板搬运装置,其中,上 述辅助板的构造为,当上述可动基座于上述空气层 上配置上述基板的状态下到达既定的上位置时,藉 由压回上述基板,对抗上述缓冲器的弹力来移位, 在上述复数个真空吸附盘嵌入上述复数个孔的状 态下,真空吸附该基板的下面中央部。 12.如申请专利范围第1至3项中任一项之基板搬运 装置,其中,在上述空气层上,设有可夹持与上述基 板相对之突出部的夹持机构。 13.如申请专利范围第12项之基板搬运装置,其中,上 述夹持机构设于上述空气层的端部上方,其构造为 ,使可衔接至上述基板之突出部的滚轮在垂直方向 及水平方向移动。 14.如申请专利范围第13项之基板搬运装置,其中,在 上述夹持机构所在的上述空气层的端部上,设有在 该空气层的下方的适当处透过缓冲器受到支持的 辅助板,此辅助板的构造为,当上述夹持机构的滚 轮到达既定的上位置时,沿着上述空气层的上面形 成平面,另一方面,当上述滚轮到达既定的下位置 时,藉由压下此滚轮,对抗上述缓冲器的弹力,移位 至下方,该滚轮继续在水平方向前进移动,衔接至 上述基板的突出部。 图式简单说明: 第1图为表示本发明之基板搬运装置之一实施型态 的全体立体图。 第2图为第1图所示之基板搬运装置的俯视图。 第3图为第1图所示之基板搬运装置的侧视图。 第4图为第1图所示之基板搬运装置的内部构造图 。 第5图为第1图所示之基板搬运装置所包含的支持 装置的部分剖面图。 第6图为第1图所示之基板搬运装置所包含的空气 层的部分剖面图。 第7图为用来说明第1图所示之基板搬运装置之动 作的整体立体图。 第8图为用来说明第1图所示之基板搬运装置之动 作的整体立体图。 第9图为用来说明第1图所示之基板搬运装置之动 作的整体立体图。 第10图为用来说明第1图所示之基板搬运装置之动 作的整体立体图。 第11图为第10图所示之状态之基板搬运装置的内部 构造图。 第12图为用来说明第1图所示之基板搬运装置之动 作的整体立体图。 第13图为第12图所示之状态之基板搬运装置的内部 构造图。 第14图为用来说明第1图所示之基板搬运装置之动 作的整体立体图。 第15图为第14图所示之状态之基板搬运装置的内部 构造图。 第16图为其他实施型态之基板搬运装置的俯视图 。 第17图为第16图所示之基板搬运装置的重要部位剖 面图。 第18图为第16图所示之基板搬运装置的重要部位剖 面图。 第19图为第16图所示之基板搬运装置的重要部位剖 面图。 第20图为其他实施型态之基板搬运装置的重要部 位剖面图。 第21图为其他实施型态之基板搬运装置的重要部 位俯视图。 第22图为其他实施型态之基板搬运装置的俯视图 。 第23图为其他实施型态之基板搬运装置的俯视图 。 第24图为第23图所示之基板搬运装置的重要部位俯 视图。 第25图为第23图所示之基板搬运装置的重要部位剖 面图。 第26图为第23图所示之基板搬运装置的重要部位剖 面图。 第27图为第23图所示之基板搬运装置的重要部位剖 面图。 |
