<p>Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Positionierung eines Bauelementes. Ein Fluidantrieb bewegt das Bauelement entlang einer Führung. Eine Positionsmarkierung des Bauelementes wird von mindestens einem Sensor erfaßt. Ein Ausgangs Signal des Sensors wird einer Steuereinheit zugeführt und die Steuereinheit regelt eine Position des Bauelementes durch eine Variation der Zufuhr des Fluids in Abhängigkeit vom Ausgangssignal des Sensors.</p>
申请公布号
WO2007012307(A2)
申请公布日期
2007.02.01
申请号
WO2006DE01265
申请日期
2006.07.17
申请人
SIG TECHNOLOGY LTD.;LINKE, MICHAEL;LITZENBERG, MICHAEL;BAUMGARTE, ROLF