发明名称 UTILIZING ATOMIC LAYER DEPOSITION FOR PROGRAMMABLE DEVICE
摘要
申请公布号 KR100676342(B1) 申请公布日期 2007.02.01
申请号 KR20057002832 申请日期 2005.02.18
申请人 发明人
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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