CAPTEUR DE CONDUCTIVITE THERMIQUE, PROCEDE DE FABRICATION ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE DU CAPTEUR

摘要

Détecteur de conductivité thermique (10) comportant une matière de substrat (20) et une membrane (30), avec un élément chauffant (31) prévu dans ou sur la membrane (30) ainsi qu'un élément de mesure de température (32).La membrane (30) est fabriquée en micro-mécanique de surface et l'élément de mesure de température (32) est un élément thermique.