Glaszusammensetzung ausschließlich bestehend aus Oxiden,welche bei Reaktion mit Fluor schon bei niedrigen Temperaturen flüchtige Fluoride ausbilden, sowie deren Verwendung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine neue Glaszusammensetzung, welche ausschließlich Oxide umfasst, die bei niedrigen Temperaturen flüchtige Fluoride bilden und deren Verwendung in Mikrostrukturierungsprozessen. DOLLAR A Die Gläser bestehen aus (in Mol.-%): DOLLAR A SiO¶2¶ 40-70 DOLLAR A GeO¶2¶ 0-30 DOLLAR A B¶2¶O¶3¶ 5-20 DOLLAR A P¶2¶O¶5¶ 5-20 DOLLAR A WO¶3¶ 0-10 DOLLAR A As¶2¶O¶3¶ 0-10 DOLLAR A Yb¶2¶O¶3¶ 0-5 DOLLAR A Lu¶2¶O¶3¶ 0-5