发明名称 感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图的制造方法及印刷电路板的制造方法
摘要 一种感光性树脂组合物,其是含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内至少含有一个可聚合的乙烯性不饱和基的光聚合性化合物、及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物,其中,(B)成分含有通式(1)所示的化合物,式中,三个R<SUP>1</SUP>各自独立地表示氢原子或甲基,三个X各自独立地表示碳原子数2~6的亚烷基,i、j及k各自独立地是1~14的整数。
申请公布号 CN1902547A 申请公布日期 2007.01.24
申请号 CN200480040322.3 申请日期 2004.09.03
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 石川力;渡边满明;笹原直树
分类号 G03F7/027(2006.01) 主分类号 G03F7/027(2006.01)
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 钟晶
主权项 1.一种感光性树脂组合物,其是含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内至少含有一个可聚合的乙烯性不饱和基的光聚合性化合物、及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物,其中,所述(B)成分含有下述通式(1)所示的化合物,式中,三个R1各自独立地表示氢原子或甲基,三个X各自独立地表示碳原子数2~6的亚烷基,i、j及k各自独立地是1~14的整数。
地址 日本东京都