| 发明名称 | 感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件 | ||
| 摘要 | 一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如通式(I)所示的重复单元的聚酰胺(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团，p表示重复单元数的整数)；(b)经光照产生酸的化合物；及(c)如通式(II)所示的化合物(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基：R<SUP>1</SUP>及R<SUP>2</SUP>各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。 | ||
| 申请公布号 | CN1902548A | 申请公布日期 | 2007.01.24 |
| 申请号 | CN200480040128.5 | 申请日期 | 2004.12.16 |
| 申请人 | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 | 发明人 | 大江匡之;小松博;津丸佳子;川崎大;加藤幸治;上野巧 |
| 分类号 | G03F7/037(2006.01);G03F7/039(2006.01);G03F7/004(2006.01);C08G69/26(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/037(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种感光性聚合物组合物，包括：(a)具有如下述通式(I)所示的重复单元的聚酰胺；【化1】<img file="A2004800401280002C1.GIF" wi="1178" he="250" />(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团、p为表示重复单元数的整数)(b)经光照产生酸的化合物：以及(c)如下述通式(II)所示的化合物，【化2】<img file="A2004800401280002C2.GIF" wi="1156" he="232" />(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基；R<sup>1</sup>及R<sup>2</sup>各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||