| 主权项 |
1.一种超精密加工机Z轴同步偏摆微定位装置,该加 工机具有一工作台,该工作台系供带动一刀具作切 削进给,而该刀具系设置于一活动座上,该活动座 之两端分别设有一电致元件,而各该电致元件之另 端则结合于该工作台,且各该电致元件系由一电力 控制单元所控制驱动,并且该电力控制单元系以加 工机之主轴角度讯号作为控制讯号。 2.依申请专利范围第1项所述之超精密加工机Z轴同 步偏摆微定位装置,其中该电致元件系由压电材料 制成者。 3.依申请专利范围第1项所述之超精密加工机Z轴同 步偏摆微定位装置,其中各该电致元件与活动座间 系呈枢接给合之形态。 图式简单说明: 第1图系超精密加工机工作台三个轴向之示意图 第2图系本发明之结构示意图 第3图系本发明电力控制单元之连线示意图 第4A图系本发明之刀具直线进刀之示意图 第4B图系本发明之刀具摆动之示意图 第5A图系凸轮之平面图 第5B图系凸轮之进刀量与主轴角度之关系图 第6A图系第一种凸轮槽之外观图 第6B图系第6A图中之凸轮槽其偏摆量与主轴角度之 关系图 第7A图系第二种凸轮槽之外观图 第7B图系第7A图中之凸轮槽其偏摆量与主轴角度之 关系图 |
