| 主权项 |
1.一种打线接合机,用于半导体晶片的接线,其包括 : 一接线头(22); 一供电模组(6),用于供应操作接线头(22)之驱动器(7 )之电能; 一定时器(10); 一控制程序(2);及 至少一紧急开关(18), 此至少一紧急开关(18)于触动时产生一信号,使控 制程序(2)完成当前的接线循环,及然后暂停进一步 的接线,及使定时器(10)启动,此定时器(10)在经过了 一预定的时间周期后,打开开关(11),此预定的时间 周期足够长而可完成当前的接线循环。 2.如申请专利范围第1项的打线接合机,其中又包括 : 一供电模组(5),其确保在外部供电中断时为打线接 合机提供最小预时时间周期的供电;和 一感测器(4),其用于侦测可能的外部供电中断,其 中,当感测器报告外部供电中断时,控制程序(2)完 成当前接线循环并暂停进一步的接线。 3.如申请专利范围第2项的打线接合机,其中当感测 器报告外部供电中断时,打线接合机被设置为立即 切断完成当前接线循环所不需要的所有用电器。 4.如申请专利范围第1项的打线接合机,其中又包括 用于测量压力供应管线(20)中压力的压力感测器(21 ),其中当压力感测器(21)所测得压力低于预定値时, 控制程序(2)完成当前接线循环并暂停进一步的接 线。 5.如申请专利范围第2项的打线接合机,其中又包括 用于测量压力供应管线(20)中压力的压力感测器(21 ),其中当压力感测器(21)所测得压力低于预定値时, 控制程序(2)完成当前接线循环并暂停进一步的接 线。 6.如申请专利范围第3项的打线接合机,其中又包括 用于测量压力供应管线(20)中压力的压力感测器(21 ),其中当压力感测器(21)所测得压力低于预定値时, 控制程序(2)完成当前接线循环并暂停进一步的接 线。 7.如申请专利范围第1项的打线接合机,其中又包括 用于监测真空度和真空箱(15)的至少一个真空感测 器(17;19),该真空度和真空箱确保在外部真空供给 中断时在最小预定时间周期内为打线接合机提供 真空,其中当真空感测器(17;19)报告真空度下降到 预定値以下时,控制程序(2)完成当前接线循环并暂 停进一步的接线。 8.如申请专利范围第2项的打线接合机,其中又包括 用于监测真空度和真空箱(15)的至少一个真空感测 器(17;19),该真空度和真空箱确保在外部真空供给 中断时在最小预定时间周期内为打线接合机提供 真空,其中当真空感测器(17;19)报告真空度下降到 预定値以下时,控制程序(2)完成当前接线循环并暂 停进一步的接线。 9.如申请专利范围第3项的打线接合机,其中又包括 用于监测真空度和真空箱(15)的至少一个真空感测 器(17;19),该真空度和真空箱确保在外部真空供给 中断时在最小预定时间周期内为打线接合机提供 真空,其中当真空感测器(17;19)报告真空度下降到 预定値以下时,控制程序(2)完成当前接线循环并暂 停进一步的接线。 10.如申请专利范围第4项的打线接合机,其中又包 括用于监测真空度和真空箱(15)的至少一个真空感 测器(17;19),该真空度和真空箱确保在外部真空供 给中断时在最小预定时间周期内为打线接合机提 供真空,其中当真空感测器(17;19)报告真空度下降 到预定値以下时,控制程序(2)完成当前接线循环并 暂停进一步的接线。 11.如申请专利范围第5项的打线接合机,其中又包 括用于监测真空度和真空箱(15)的至少一个真空感 测器(17;19),该真空度和真空箱确保在外部真空供 给中断时在最小预定时间周期内为打线接合机提 供真空,其中当真空感测器(17;19)报告真空度下降 到预定値以下时,控制程序(2)完成当前接线循环并 暂停进一步的接线。 12.如申请专利范围第6项的打线接合机,其中又包 括用于监测真空度和真空箱(15)的至少一个真空感 测器(17;19),该真空度和真空箱确保在外部真空供 给中断时在最小预定时间周期内为打线接合机提 供真空,其中当真空感测器(17;19)报告真空度下降 到预定値以下时,控制程序(2)完成当前接线循环并 暂停进一步的接线。 13.如申请专利范围第1到12项中任一项的打线接合 机,其中又包括光幕(13),该光幕用于侦测任何对接 线头工作区域的接近,其中如果光幕(13)报告中断, 控制程序(2)完成当前接线循环并暂停进一步的接 线。 图式简单说明: 第1图为本发明打线接合机的示意图。 |
