发明名称 一种集成电路的电感
摘要 本发明提供一种集成电路的电感,其包含一个基板、至少一个深N阱、至少一个P阱、至少一个下通道、至少一个第一金属线圈;其中,N型深阱位于该基板上方;P阱位于该N型深阱上方;下通道位于该P阱上方;第一金属线圈位于该下通道上方,且该第一金属线圈可在邻近处与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下通道连接。本发明的集成电路的电感具有较高的Q值,应用于线宽为0.25微米以下的制作工艺,此外,本发明技术提供的集成电路的电感更具有一个N型深阱,可有效延后自我共振频率使得该集成电路的电感具有较高频宽。
申请公布号 CN1295718C 申请公布日期 2007.01.17
申请号 CN200310122886.9 申请日期 2003.12.25
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 陈真
分类号 H01F17/00(2006.01);H01L27/01(2006.01);H01L27/00(2006.01) 主分类号 H01F17/00(2006.01)
代理机构 上海新高专利商标代理有限公司 代理人 竺明;谢晋光
主权项 1.一种集成电路的电感,其包含:一个基板;至少一个N型深阱,该N型深阱位于该基板上方;至少一个P阱,该P阱位于该N型深阱上方;至少一个下通道,其位于该P阱上方;以及至少一个第一金属线圈,其位于该下通道上方,且该第一金属线圈可在邻近处与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下通道连接。
地址 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号