发明名称 |
一种集成电路的电感 |
摘要 |
本发明提供一种集成电路的电感,其包含一个基板、至少一个深N阱、至少一个P阱、至少一个下通道、至少一个第一金属线圈;其中,N型深阱位于该基板上方;P阱位于该N型深阱上方;下通道位于该P阱上方;第一金属线圈位于该下通道上方,且该第一金属线圈可在邻近处与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下通道连接。本发明的集成电路的电感具有较高的Q值,应用于线宽为0.25微米以下的制作工艺,此外,本发明技术提供的集成电路的电感更具有一个N型深阱,可有效延后自我共振频率使得该集成电路的电感具有较高频宽。 |
申请公布号 |
CN1295718C |
申请公布日期 |
2007.01.17 |
申请号 |
CN200310122886.9 |
申请日期 |
2003.12.25 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
陈真 |
分类号 |
H01F17/00(2006.01);H01L27/01(2006.01);H01L27/00(2006.01) |
主分类号 |
H01F17/00(2006.01) |
代理机构 |
上海新高专利商标代理有限公司 |
代理人 |
竺明;谢晋光 |
主权项 |
1.一种集成电路的电感,其包含:一个基板;至少一个N型深阱,该N型深阱位于该基板上方;至少一个P阱,该P阱位于该N型深阱上方;至少一个下通道,其位于该P阱上方;以及至少一个第一金属线圈,其位于该下通道上方,且该第一金属线圈可在邻近处与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下通道连接。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 |