发明名称 |
纳米管及其图案的制造方法和装置 |
摘要 |
一种能够因电弧放电而使主要包括石墨的电弧处理材料的表面瞬间形成纳米管的方法和装置,该电弧放电利用类似焊接电弧焊炬等的单元进行,而无需处理容器,这形成用于电子发射源的纳米管。用作第一电极的焊炬电极与由石墨制成且用作第二电极的电弧处理材料彼此相对设置。将电压加载到两个电极之间,以在其间产生电弧放电。将具有开口图案的掩膜设置在电弧处理材料上,使得仅位于电弧处理材料表面上与掩膜开口相对应的部分上的石墨暴露给电弧,从而形成纳米管。 |
申请公布号 |
CN1295145C |
申请公布日期 |
2007.01.17 |
申请号 |
CN01133899.7 |
申请日期 |
2001.11.21 |
申请人 |
滝川浩史;双叶电子工业株式会社 |
发明人 |
滝川浩史;日比美彦 |
分类号 |
C01B31/02(2006.01);B82B3/00(2006.01);H01J9/02(2006.01);H01J1/304(2006.01) |
主分类号 |
C01B31/02(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
李晓舒;魏晓刚 |
主权项 |
1.一种制造纳米管的方法,包括步骤:在空气气氛中以彼此相对的方式设置第一电极和第二电极,所述第二电极由主要包括碳材料的材料制成;在所述第一电极与所述第二电极之间加载电压,以进行二者间的电弧放电;以及使所述第二电极的预定区域上的碳材料因所述电弧放电而转变成所述预定区域处的所述第二电极表面上的纳米管。 |
地址 |
日本爱知县 |