| 发明名称 |
Apparatus for heat-treatment of semiconductor films under low temperature |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1355346(B1) |
申请公布日期 |
2007.01.17 |
| 申请号 |
EP20020356092 |
申请日期 |
2002.05.16 |
| 申请人 |
VIATRON TECHNOLOGIES INC |
发明人 |
KIM, HYOUNG JUNE;SHIN, DONG HOON |
| 分类号 |
G02F1/1368;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H05B6/02;H05B6/10;H05B6/40 |
主分类号 |
G02F1/1368 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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