薄化晶圆之方法

摘要

首先，提供一晶圆，且该晶圆包含有一正面与一背面。接着提供一承载晶圆，并利用一接合媒介将该晶圆之该背面与该承载晶圆接合。随后进行一晶圆薄化制程，自该晶圆之该正面薄化该晶圆。最后去除该接合媒介以分离该晶圆与该承载晶圆。