应用积体电路相容微机电加工技术制作微抬升结构

摘要

本发明系提供一种应用积体电路相容微机电加工技术制作微抬升结构，乃指一种可应用积体电路相容微机电加工技术(COMS–MENS)进行共用制程整合制作之微抬升结构；主要乃利用二组微阵列式热致动器，排列于对角异方向作为驱动元件，各组微阵列式热致动器乃各接合一抬升臂，并在二抬升臂间共同枢接一牵制平台，当该等微阵列式热致动器自对角异方向进行致动驱动时，二抬升臂之偏转动作会同时推挤该牵制平台扭曲而产生一垂直方向的偏移量，本发明之微抬升结构可作为微光学元件以及各式微元件之垂直抬升与角度控制用。